罗茨真空泵在使用一段时间之后，为了能够有效的维持设备的使用效率，我们需要定期的对真空泵进行进行清洗工作，从而使清理后的罗茨真空泵效率更高，更好用。
罗茨真空泵由许许多多的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成的，如车、铣、饱、磨、镗、焊接等。这样使零件表面不可避免的会沾上许多机加工油脂、汗痕、抛光膏，焊剂等。此外，加工中的焊接夹杂、金属屑、油垢等也会留在孔隙凹坑之处。这些污染物在真空中易挥发，影响罗茨真空泵的级限真空。此外，污染物在大气压下还吸附了大量气体，在真空环境中，也要释放出来，构成了限制级限真空的因素。为此，零件组装前一定要除掉污染物。
罗茨真空泵使用过程中，零件还会受到污染。这种污染同使用条件及真空泵有关。如真空干燥系统，经常使用后会受到蒸发出来的物质污染。此外，真空中电子枪的灯丝，由于高温蒸发会使其附近形成金属膜。规管灯丝在高温下蒸发，使陶瓷绝缘子上形成薄膜，破坏绝缘强度，影响测量的准确性。此外还会发生短路、打火等观象。
因为，杂质的污染很大的影响了罗茨真空泵的整体性能，所以用户在使用时应及时的进行清理，避免影响罗茨真空泵的使用效率和缩短设备使用寿命。
